Titánový rotačný valcový terč

Je to komponent používaný v procesoch fyzikálnej depozície z plynnej fázy (PVD), čo je metóda na nanášanie tenkých vrstiev materiálu na substrát. Titánový trubicový terč je vyrobený z čistého titánu a má tvar valca, ktorý sa otáča počas procesu PVD.

Proces PVD funguje pomocou elektrického oblúka alebo magnetrónového rozprašovania na odparenie cieľového materiálu, v tomto prípade titánu, a jeho uloženie ako tenkého filmu na substrát. Otočný valcový terč umožňuje rovnomernejšie ukladanie titánového filmu na substrát.

Výhody použitia v procesoch PVD zahŕňajú vysokú čistotu naneseného filmu, vysokú rýchlosť nanášania a zlepšenú priľnavosť filmu. Titánové rotačné terče pre magnetrónové naprašovanie sú vyrobené z vysoko kvalitného titánového materiálu a sú navrhnuté tak, aby odolali vysokým teplotám a mechanickému namáhaniu počas procesu PVD.

Špecifikácia Úvod

Typ normálnej veľkosti:

Naša výhoda

Titánové terče, ktoré dodávame, majú malé zrná, rovnomernú distribúciu, vysokú čistotu, málo inklúzií a vysokú čistotu. Nanesený film TiN sa používa v dekoráciách, nástrojoch, polovodičoch a iných oblastiach s dobrou priľnavosťou, rovnomerným povlakom a jasnými farbami.

--Čistota

Na výrobu kvalifikovaného titánového naprašovacieho terča je čistota jedným z jeho dôležitých ukazovateľov výkonu. Čistota titánového terča má veľký vplyv na výkon naprašovacieho povlaku. Čím vyššia je čistota titánového terča, tým menej častíc nečistôt je v naprašovanom titánovom filme, čo vedie k lepšiemu výkonu PVD povlaku, vrátane lepšej odolnosti proti korózii a elektrických a optických vlastností. Avšak v praktických aplikáciách majú titánové terče na rôzne účely rôzne požiadavky na čistotu. Terčový materiál sa používa ako zdroj katódy pri naprašovaní a prvky nečistôt a pórovité inklúzie v materiáli sú hlavnými zdrojmi znečistenia naneseného filmu. Pórovité inklúzie budú v podstate odstránené počas nedeštruktívneho testovania ingotu a pórovité inklúzie, ktoré nie sú odstránené, spôsobia výboj počas procesu naprašovania, čím ovplyvnia kvalitu filmu; obsah prvkov nečistôt sa môže prejaviť iba vo výsledkoch testu úplnej analýzy prvkov, čím nižší je celkový obsah nečistôt, tým vyššia je čistota titánového terča.

--Hustota

Hustota je tiež dôležitým faktorom pri meraní kvality titánových terčov. Aby sa znížila pórovitosť v pevnej látke terča a zlepšil sa výkon naprašovaného filmu, zvyčajne sa vyžaduje, aby terč mal vyššiu hustotu.

Hustota terča ovplyvňuje nielen rýchlosť rozprašovania, ale aj elektrické a optické vlastnosti filmu. Čím vyššia je cieľová hustota, tým lepší je výkon filmu. Okrem toho zvýšenie hustoty a pevnosti terča umožňuje, aby terč lepšie odolával tepelnému namáhaniu počas naprašovania. Hustota je tiež jedným z kľúčových ukazovateľov výkonnosti cieľa.

--Veľkosť častíc a ich distribúcia

Typicky sú rozprašovacie terče polykryštalické štruktúry s veľkosťou zŕn rádovo od niekoľkých mikrometrov do niekoľkých milimetrov. Pre ten istý terč platí, že čím menšia je veľkosť častíc terča, tým vyššia je rýchlosť rozprašovania terča; okrem toho môže terč s menším rozdielom veľkosti častíc rozprášiť film s rovnomernejšou hrúbkou. Štúdia zistila, že ak je veľkosť zrna titánového terča kontrolovaná pod 100 μm a zmena veľkosti zrna je udržiavaná v rámci 20 %, kvalita naprašovaného filmu sa môže výrazne zlepšiť.

--kryštalografická orientácia

Titán má hustú šesťuholníkovú štruktúru. Pretože sa atómy titánového terča ľahko rozprašujú pozdĺž šesťuholníkového smeru tesnenia atómov počas naprašovania, aby sa dosiahla vyššia rýchlosť naprašovania, kryštálovú štruktúru terča možno zmeniť zmenou metódy. na zvýšenie rýchlosti rozprašovania. Kryštalografický smer titánového terča má tiež veľký vplyv na rovnomernosť hrúbky naprašovaného filmu.

--Jednotnosť štruktúry

Štrukturálna jednotnosť je tiež jedným z dôležitých ukazovateľov na preskúmanie kvality cieľa. Pre titánové terče sa vyžaduje nielen rovina naprašovania terča, ale aj zloženie v normálnom smere, orientácia zŕn a rovnomernosť priemernej veľkosti zrna v rovine naprašovania. Len tak môže titánový terč získať titánový film s rovnomernou hrúbkou, spoľahlivou kvalitou a konzistentnou veľkosťou zrna súčasne počas svojej životnosti.

Prípad špecifikácie

Rýchlosť otáčania: Terč by mal byť schopný otáčať sa rýchlosťou až niekoľko tisíc otáčok za minútu, aby sa dosiahla rovnomernejšia rýchlosť nanášania a predĺžila sa životnosť terča.

Chladenie: Terč z titánovej trubice by mal byť chladený vodou, aby sa rozptýlilo teplo generované počas procesu nanášania a zabránilo sa poškodeniu terča.
Nosná doska: Titánová podporná doska sa zvyčajne používa na podopretie rotujúceho valcového terča a na zabezpečenie elektrického kontaktu.
Metóda lepenia: Terč sa zvyčajne spája s podkladovou doskou pomocou difúzneho lepenia alebo iných metód vysokopevnostného spojenia, aby sa zabezpečila dobrá tepelná a elektrická vodivosť.
Čistota: Titánové rotačné terče pre magnetrónové naprašovanie by mali mať vysokú úroveň čistoty, aby sa minimalizovali nečistoty v nanesených filmoch a zabezpečil sa konzistentný výkon. Úroveň nečistôt by mala byť pre väčšinu aplikácií nižšia ako 1000 častíc na milión (ppm).

Celkovo sa špecifikácie titánového rotačného valcového terča budú líšiť v závislosti od špecifických požiadaviek aplikácie a terč je možné prispôsobiť tak, aby vyhovoval týmto potrebám.

Populárne Tagy: Titánové rotačné terče pre magnetrónové naprašovanie, terč z titánovej trubice